首页> 外文OA文献 >Microfluidics within a Swagelok®: A MEMS-on-tube assembly
【2h】

Microfluidics within a Swagelok®: A MEMS-on-tube assembly

机译:世伟洛克®中的微流控:MEMS管上组件

代理获取
本网站仅为用户提供外文OA文献查询和代理获取服务,本网站没有原文。下单后我们将采用程序或人工为您竭诚获取高质量的原文,但由于OA文献来源多样且变更频繁,仍可能出现获取不到、文献不完整或与标题不符等情况,如果获取不到我们将提供退款服务。请知悉。

摘要

A novel packaging cum interfacing technique for microfluidic devices is reported. Unlike the conventional approach towards packaging in which the MEMS is first developed and finally packaged, a reverse approach is shown here that integrates the package with the MEMS either at the beginning or within the fabrication process. This new method employs standard glass tubes as substrates on which microfluidic components are fabricated. The tubular-substrate directly translates into a package and an interface, leading to ‘plug-n-play’ devices. Maintaining the total size of the MEMS device within the circumference of the glass tube enables this MEMS-on-tube assembly to be encapsulated within standard Swagelok® connectors.
机译:报道了一种用于微流体装置的新颖的包装暨接口技术。与首先开发并最终封装MEMS的传统封装方法不同,此处显示了一种相反的方法,该方法在开始或制造过程中将封装与MEMS集成在一起。这种新方法采用标准玻璃管作为制造微流体组件的基板。管状基板直接转化为封装和接口,从而形成“即插即用”设备。将MEMS器件的总尺寸保持在玻璃管的圆周范围内,可使该MEMS管上组件封装在标准的Swagelok®连接器内。

著录项

相似文献

  • 外文文献
  • 中文文献
  • 专利
代理获取

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号